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유체 GAS 제어 제품주요특징
유체제어 main
반도체/디스플레이 장비

주식회사 썬덴코리아는
일본 PURERON JAPAN CO.,LTD. 과의 기술협력으로 반도체/디스플레이 제조 공정 라인의 필수 장비인0.003㎛ 이상의 고 여과 정밀도를 자랑하는 세라믹 필터 시리즈와, 왜곡률/왜곡파를 배제한 독자적 기술력에 의한 고성능 압력 변환기 등을 포함하여, 고객이 신뢰할 수 있는 IGS(집적형 가스 공급장치), 세라믹 가스필터, 메탈 가스필터, PTFE 가스필터, 가스정제기, 베이킹 시스템, 압력센서, 온도센서, 미차압계, 비저항율계, 디지털 플로우 스위치, 디지털 플로우 미터, 복합 전해 연마가공, NC 절삭가공, 하이브리드 필터 등 국내외 반도체/디스플레이 제조 공정에 필요한 광범위한 제품군을 공급하고 있습니다

STF-MF1

제품종류

■ IGS(집적형 가스 공급장치
FI/SI series
PC Series
디퓨저 IGS
IGS_FI-SI


IGS_PCseriesI
고정도와 고내식성을 특징으로 하는 세라믹 가스필터로 방출가스 특성에 최적화된 우수한 필터 시리즈입니다.
집적형 가스 공급장치용 가스필터로, 고 여과정도와 내식성을 갖춘 세라믹 필터 및 메탈 필터를 라인업 (여과정도 0.003㎛ 추천유량 수LPM~120LPM)
고 정밀, 고 내식성을 갖춘 IGS용 압력센서 게이지압, 절대압 모두 폭넓은 범위에서 측정가능 (출력 형태:0~100mV, 0~50mV, 4~20mA, 0~5V

■ 가스필터

세라믹 가스 필터
메탈 가스 필터
히스텔로이 가스필터
PTFE 가스필터
SDLEGP세라믹
SDLEGP메탈

SDLEGP히스텔로이
SDLEGPptfe
고정도와 고내식성을 특징으로 하는 세라믹 가스필터로 방출가스 특성에 최적화된 우수한 필터 시리즈
종류 : PGF Series / PGFL Series / UCF Series / SPC Series
저압력 손실 메탈 가스필터, 거침 제거용 올메탈 가스필터, 고 여과정도 올메탈 가스필터 시리즈
종류 : UCD Series / RGF Series / UCS-M Series
모든 재질에 하스텔로이를 사용해,압력 손실이 극히 적고, 컴팩트한 크기로 보다 많은 유량을 처리할 수 있습니다.
하스텔로이 올메탈 가스필터 UCH-M Series
저압력 저손실 PTFE 가스필터, 고 여과정도 PTFE 가스필터, 고 내압용 PTFE 가스필터, 소형 대유량 PTFE 가스필터 시리즈
종류 : TF Series / STF Series / STF-3000 Series / STF-MF1 Series
초고압 메탈 필터
하이브리드 필터
벤트 필터
SDLEGP초고압메탈
SDLEGP하이브리드
SDLEGP벤트
고압가스 설비 시험 인증제품 커스터마이즈 올 메탈필터, 고 청정도 초고압 85MPa까지 요구에 따라 압력 대응합니다.
초고압(~85 MPa) 대응 HSFD Series
0.3㎛ / 0.1㎛ 이상의 배관 중 큰 파티클을 잡아내는 것으로정밀 여과 정도 가스 필터와 메스 플로우 컨트롤러의 눈 막힘 방지.
하이브리드 필터 PGH/PGTSeries
내열성 우수 / 고 여과정도를 지원합니다. 컵 형태이므로, 끝부분도 가스 분출이 됩니다.모든 재질이 SUS316L로 구성
퀵 디퓨즈 벤트필터 FBA Series
■ 가스 정제장치
■ 히터 (Heater)
GP/GPF series
GPFC series
FBR series
GCW series
01SDLEGPgpgpf
02SDLEGPgpfc

03SDLEGPfbr
04SDLEGPgcw
초 고순도 가스 소형 정제기는 사용 지점에서불활성 가스, 특수 가스 중에 포함된 수분, 산소, 하이드로 카본 등의 불순물을 효율적으로 제거합니다..
초정밀 가스필터 엘리먼트와 고청정활성탄을 내장해, 사용지점의 드라이에어 및 불활성가스 중의 미립자, 기체유기물, 산소계불순물을 효율적으로 제거합니다
가스필터 베이킹용 자켓히터 FBR 시리즈는 200℃ 고온에서 필터를 베이킹하는 획기적인 베이킹 히터입니다.
퓨어론 소형 가스 정제기용 GCW시리즈는 효율적인 히팅을 위해 개발된 전용 자켓히터입니다.
■ 압력센서
PCH-1000 series
PC-300 series
PC-600 series
PC-500 series
01SDLEGP1000
02SDLEGP300
03SDLEGP600
04SDLEGP500
SUS316L제 (다이어프램부는 하스텔로이) 측정 매체 온도는 최고 300℃ (주변온도 250℃)까지 가능합니다.
고정밀 압력센서 SUS316L제, 고 내식성 . 고 정도 압력 트랜스미터 우수한 온도 특성을 가진 고정도 압력센서입니다.
HBr, HCl 등 할로겐계 반응성, 부식성 특수 가스에 강한 내식성을 가진 하스텔로이를 사용 부식성 특수가스용 압력 트랜스미터 입니다.
PTFE 재질 / 반도체산업, 의료산업, 식품산업 등의 각종 제조 라인에 최적의 케미컬용 압력센서 입니다.
PCD-905 series
05SDLEGP905
표시기 압력 트랜스미터 우수한 온도 특성을 가진 표시기 부착형 고정도 압력 센서입니다. 가스(액) 접촉부는 SUS316L 재질을 채택하여 우수한 내식성을 갖췄습니다.