에너지 측정 기능이 있는 유량 센서

- 압축공기와 아르곤, 헬륨, 이산화탄소, 질소 같은 부식성 가스 측정

- 측정 부정확도가 ± 3% M.V. 및 ± 0.3% M.E.V인 열량 측정 원리

- 가스 유량, 온도, 공정 압력 및 에너지 소비 측정을 단 한 대의 센서로 적은 압력 손실

- 실린더 및 누설 감시를 위한 높은 측정 역동성