■ 각종 직접화 가스 시스템용 가스필터와 압력 센서
- FIX/SIX 시리즈 : 고여과정도로 정평이 나있는 세라믹 엘리먼트 타입(0.00015μm)과 금속 엘리먼트 타입(0.0015μm)
- FI/SI 시리즈 : 각종 직접화 가스 패널용 가스 필터.
고여과정도와 내부식성으로 정평된 세라믹 필터와 모든 메탈 필터를 라인업 (여과정도 0.003μm 추천 유량 수 LPM~120LPM)
- PC 시리즈 : 고정도,고내식성을 특징으로 하는 각종 직접화 가스 시스템용 압력 센서.
게이지 압,절대압 같이 폭 넓은 범위에서 측정이 가능(출력 상태:0~100mV,0~50mV,4~20mA,0~5V)